铁电存储器因具有低功耗、高存储密度、抗辐射等一系列优异性能而成为非常具有发展潜力的新型存 储器件。作为铁电存储器中的存储单元,铁电畴的形貌显得尤为重要。目前对于铁电材料畴结构的理论模 拟大部分还停留在二维亦或是仅考虑传统的力电耦合水平。为弥补现有理论模拟工作的不足,本文在前人 工作的基础上,针对一种铁电材料建立了考虑高阶力-电耦合行为下铁电薄膜中畴结构随各个能量密度、不 同失配应变、不同挠曲电耦合强度变化的三维多物理场耦合模型。本文采用有限元方法,通过有限元模拟 软件模拟了不同条件下铁电薄膜中畴结构的变化。研究发现:不同能量密度对铁电薄膜内畴结构的影响不 尽相同,各个畴的体积分数随能量项的引入发生变化;随着失配应变从压应变到拉应变,薄膜内的畴结构 发生有规律的变化,不同挠曲电耦合强度下铁电薄膜内各个畴结构的形貌演化各不相同。 关键词:相场法;铁电薄膜;畴结构;挠曲电耦合